臺(tái)階儀高精度薄膜厚度與臺(tái)階高度測(cè)量

中圖儀器NS系列臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高,、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量,。是一種可以測(cè)量微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度,、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,。

工作原理

當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng),。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況,。

通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測(cè)量這些小特征。一個(gè)精密的xy載物臺(tái)聯(lián)合掃描軸R和轉(zhuǎn)臺(tái)θ,，在測(cè)針下移動(dòng)樣品,，測(cè)針中的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)。然后將這些電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式,，在其中它們可以顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上并進(jìn)行操作以確定有關(guān)基材的各種分析信息,。可以微調(diào)掃描長(zhǎng)度和掃描速度,，以增加或減少分析時(shí)間和分辨率。此外,，測(cè)力可調(diào)以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。

結(jié)構(gòu)

主要組成部分

1、測(cè)量系統(tǒng)

（1）單拱龍門式設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度,。

（2）線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

（3）傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測(cè)量,。測(cè)力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量,。

2、工件臺(tái)

（1）精密的XY平臺(tái)結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái),，可以對(duì)樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整,。

（2）超高直線度導(dǎo)軌,，有效避免運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度,，真是反映工件微小形貌,。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量,。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,，使得測(cè)量更加直觀,。

4、軟件系統(tǒng)

臺(tái)階儀高精度薄膜厚度與臺(tái)階高度測(cè)量軟件包含多個(gè)模塊,。

5,、減震系統(tǒng)

防止微小震動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,，使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻,、濺射、SIMS,、沉積,、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,；

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra,、RMS,、Rv、Rp,、Rz等20余項(xiàng)參數(shù),；

3）翹曲與形狀：能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測(cè)量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式,；

2）導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式。

3）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì),。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī)，可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,，進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量,。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺(tái),、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸,，可對(duì)樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),，提高測(cè)量精度及效率。

產(chǎn)品應(yīng)用

NS系列臺(tái)階儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、太陽能光伏、光學(xué)加工,、LED、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定,、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,。

典型應(yīng)用：

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）